비춰 반사된 빛의 변화를 분석하는 방식으로, 기존 장비가 빛의 파장(색)만을 측정 변수로 사용했다면 헬리오스의 ‘마이크로 엘립소메트리(Micro Ellipsometry)’는 파장과 각도를 동시에 활용한다. 하나의 대물렌즈로 다양한 각도와 파장의 빛을 한 번에 분석해, 사전 정보 없이도 정밀한 자동 계측이 가능하다.현재 글로벌 반도체 박막 계측장비 시장은 미
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发布时间：01:47:54
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